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更新時(shí)間:2024-11-15
合測(cè)實(shí)業(yè)為Olympus奧林巴斯金相顯微鏡MX63代理商/特約經(jīng)銷(xiāo)商,MX63和MX63L顯微鏡系統(tǒng)經(jīng)過(guò)優(yōu)化,適用于最大尺寸300 mm的晶圓、平板顯示器、電路板以及其他大尺寸樣品的高質(zhì)量檢測(cè)。其采用的模塊化設(shè)計(jì)使您能夠選擇需要的組件,獲得根據(jù)應(yīng)用定制的系統(tǒng)。
Olympus奧林巴斯金相顯微鏡MX63功能:
先進(jìn)的分析工具
MX63系列的各種觀察功能可生成清晰銳利的圖像,讓用戶能夠?qū)悠愤M(jìn)行可靠的缺陷檢測(cè)。全新照明技術(shù)和PRECiV圖像分析軟件的圖像采集選項(xiàng)為用戶評(píng)估樣品和記錄結(jié)果提供了更多選擇。
輕松生成全景圖像:即時(shí)MIA
使用多圖像拼接(MIA)功能時(shí),用戶只需轉(zhuǎn)動(dòng)手動(dòng)載物臺(tái)上的KY旋鈕,即可快速輕松完成圖像拼接 — 電動(dòng)載物臺(tái)無(wú)需進(jìn)行該操作。PRECiV軟件采用模式識(shí)別生成全景圖像,讓用戶獲得更寬的視場(chǎng)。
生成全聚焦圖像:EFI
PRECiV的景深擴(kuò)展成像(EFI)功能可采集高度超出景深范圍的樣品圖像,并將其合成一幅全聚焦圖像。EFI可配合手動(dòng)或電動(dòng)Z軸聚焦裝置使用,以生成高度圖像,輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)結(jié)構(gòu)的可視化觀察。在PRECiV Desktop離線時(shí),也可以生成EFI圖像。
利用HDR同時(shí)采集明亮區(qū)域和暗光區(qū)域
采用先進(jìn)圖像處理技術(shù)的高動(dòng)態(tài)范圍(HDR)可調(diào)整圖像內(nèi)的亮度差異,從而減少眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺(jué)品質(zhì),有助于生成具有專業(yè)級(jí)外觀的報(bào)告。
從基本測(cè)量到高級(jí)分析
測(cè)量對(duì)于質(zhì)量、工藝控制和檢測(cè)至關(guān)重要。鑒于這一點(diǎn),即便是入門(mén)級(jí)PRECiV軟件包也融入了交互式測(cè)量功能的全部菜單,并且所有測(cè)量結(jié)果都與圖像文件一起保存以便存檔。此外,PRECiV材料解決方案還為復(fù)雜圖像分析提供面向工作流程的直觀界面。只需單擊一下按鈕,即可快速精準(zhǔn)執(zhí)行圖像分析任務(wù)。由于大幅縮減了重復(fù)任務(wù)的處理時(shí)間,操作員可以專注于手頭的檢測(cè)工作。
Olympus奧林巴斯金相顯微鏡MX63技術(shù)參數(shù):
型號(hào) | MX63 | |
光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無(wú)限遠(yuǎn)校正系統(tǒng)) | |
顯微鏡鏡架 | 反射光照明 | 白光LED(帶光強(qiáng)度管理器)12 V 100 W鹵素?zé)簦?00W汞燈,光導(dǎo) 明場(chǎng)/暗場(chǎng)/反射鏡分光鏡組件手動(dòng)切換。(反射鏡分光鏡組件為選配件。) 通過(guò)手動(dòng)操作調(diào)整3位編碼分光鏡組件 內(nèi)置電動(dòng)孔徑光闌(針對(duì)所有物鏡預(yù)設(shè),暗場(chǎng)自動(dòng)打開(kāi)) 觀察模式:明場(chǎng)、暗場(chǎng)、微分干涉對(duì)比度(DIC)*1、簡(jiǎn)易偏振光*1、熒光*1、紅外和MIX觀察(4個(gè)定向暗場(chǎng))*2 *1 選配分光鏡組件,*2 需使用MIX觀察配置 |
透射光照明 | 透射光照明裝置:需使用MX-TILA或MX-TILLB。 - MX-TILLA:聚光鏡(數(shù)值孔徑 0.5)和孔徑光闌 - MX-TILLB:聚光鏡(數(shù)值孔徑 0.6)、孔徑光闌和視場(chǎng)光闌 光源:LG-LSLED(LED光源)光導(dǎo):LG-SF 觀察模式:明場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏振光 | |
對(duì)焦 | 行程:32 mm 每轉(zhuǎn)行程微調(diào):100 μm 最小分度:1 μm 配上限限位器和粗調(diào)手柄扭矩調(diào)節(jié) | |
最大載荷重量(包括載物臺(tái)和支架) | 8 kg | |
觀察筒 | 寬視場(chǎng)(FN 22 mm) | 正像三目鏡筒:U-ETR4 正像可調(diào)傾角三目鏡筒:U-TTR-2 倒像三目鏡筒:U-TR30-2、U-TR30IR(用于紅外觀察) 倒置雙目鏡筒:U-BI30-2 倒像可調(diào)傾角雙目鏡筒:U-TBI30 |
超寬視場(chǎng)(FN 26.5 mm) | 正像可調(diào)傾角三目鏡筒:MX-SWETTR(光程切換100% [目鏡]:0 [相機(jī)] 或0:100%) 正像可調(diào)傾角三目鏡筒:U-SWETTR(光程切換100% [目鏡]:0 [相機(jī)] 或20%:80%) 倒像三目鏡筒:U-SWTR-3 | |
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器 | 明場(chǎng) 帶DIC插槽的電動(dòng)六孔:U-D6REMC 帶DIC插槽的電動(dòng)中心補(bǔ)正五孔:U-P5REMC 明場(chǎng)和暗場(chǎng) 帶DIC插槽的電動(dòng)六孔:U-D6BDREMC 帶DIC插槽的電動(dòng)五孔:U-D5BDREMC 帶DIC插槽的電動(dòng)中心補(bǔ)正五孔:U-P5BDREMC 帶真空裝置的電動(dòng)版:U-D5BDREMC-VA | |
載物臺(tái)(X x Y) | 帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄:MX-SIC8R 行程:210 x 210 mm 透射光照明區(qū)域:189 x 189 mm 帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄:MX-SIC6R2 行程:158 x 158 mm (僅適用于反射光 | |
重量 | 約35.6kg(顯微鏡鏡架26kg) |